仪器名称：冷场发射扫描电镜（SEM）

型号：S-4800

仪器照片：另附

技术参数：    1.加速电压：0.5KV-30kV
2.放大倍数：25-80万倍
3.分辨率：1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV)
4.能谱元素分析范围：Be4-U92

工作原理及结构：结构图另附

工作原理：电子枪灯丝发出细聚焦电子束，经高压加速以及第一、二聚光镜和物镜的汇聚作用，缩小成纳米级电子束射到样品上。偏转线圈使电子束在样品上逐行扫描，产生二次电子、背散射电子等信号，通过信号接收和转换，在显示器上呈现出样品的三维立体性貌。

主要功能及应用：场发射扫描电镜用于观察物体表面微观形貌、测量粒度尺寸以及微区元素的定性定量分析。由电子光学系统、真空系统和成像系统组成，具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。扫描电镜可观察纳米材料、材料断口，细胞细菌等形貌，广泛用于材料科学、冶金、生物医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、宝石鉴定、工业产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。