作者: 更新时间:2024-08-02
仪器设备名称:环境扫描电子显微镜 Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM)
生产厂家及产地:赛默飞世尔科技有限公司(ThermoFisher),捷克
仪器型号:Quattro S
技术指标和性能参数:电子发射源:肖特基热场发射电子枪;
加速电压:0.2KV~30KV;
放大倍率:6倍~250万倍;
探针电流范围:1pA~200nA,连续可调;
分辨率:高真空模式:1.0 nm@30KV,3.0 nm@1kV;
低真空模式:1.3 nm@30KV,3.0 nm@3KV;
环境真空模式:1.3 nm@30KV;
EDS能谱仪:Bruker XFlash 7-30斜插能谱仪,在观察样品微观结构的同时进行材料的成分及元素分析。
仪器原理:
由于在它物镜的下极靴处装有一压差光阑(pressure limited aperture),使得在保证电子枪区高真空的同时,允许样品室内有气体流动。因此,ESEM的问世,把人们引入了一个全新的形态学观察的领域。
应用范围:
环境扫描电子显微镜除了像普通扫描电镜的样品室和镜筒内设为高真空,检验导电导热或经导电处理的干燥固体样品以外,还可以作为低真空扫描电镜直接检测非导电导热样品,无需进行处理。环境扫描电镜可以对各种固体和液体样品进行形态观察和元素定性定量分析,对部分溶液进行相变过程观察。对于生物样品、含水样品、含油样品,既不需要脱水,也不必进行喷碳或金等导电处理,可在自然的状态下直接观察二次电子图像并分析元素成分。