仪器名称：超高分辨场发射扫描电子显微镜

英文名称：Ultra-high resolution field emission Scanning Electron Microscope（SEM）仪器型号：SU8600型

生产厂家：日立HITACHI

产地：日本

仪器原理：

由电子光学系统、真空系统和成像系统组成，具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。主要用于观察各种固体样品表面、切面或断面的微观立体形貌，测量粒度尺寸以及微区元素的定性定量分析。

技术指标与性能参数：

加速电压：0.01KV-30kV；

放大倍数：20-200万；

分辨率：0.6nm(15kV)、0.7nm(1kV)；

能谱元素分析范围：Be4-Cf98。

应用领域：

广泛应用于生物、植物、地质、冶金、材料、化工、环境、医学以及半导体集成电路领域。